壓力變送器內(nèi)壓力傳感器的種類分析
1、擴(kuò)散硅壓力變送器:技術(shù)成熟,體積小巧,價格低,表壓測量為主流,另有少量絕壓,電容式相比不足為抗過載能力差,無耐腐差壓可選擇,微量程精度低;
2、陶瓷壓力變送器:價格低廉,但是精度低,微量程和大量程不做選擇,只適用于表壓測量;
3、藍(lán)寶石壓力變送器:主要優(yōu)點是可以測量高溫介質(zhì),傳感器的溫度系數(shù)小,溫漂在這幾類傳感器中最低。藍(lán)寶石可以最大量程到160MPa,而擴(kuò)散硅的最大量程為35MPa;
4、應(yīng)變式壓力傳感器:低成本,靈敏度低,響應(yīng)頻率低,長期漂移大,在大量程測量上有一些優(yōu)勢;
5、石英晶體壓力傳感器:高頻響壓力傳感器,只應(yīng)用于航空航天等特定要求的壓力測量;
6、濺射薄膜壓力傳感器:耐高溫,穩(wěn)定、可靠,用于軍用,價格很昂貴,國內(nèi)少有應(yīng)用。