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壓阻式壓力傳感器(擴(kuò)散硅壓力傳感器)工作原理

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壓阻式壓力傳感器(擴(kuò)散硅壓力傳感器)工作原理
壓阻式壓力傳感器原理

壓阻式壓力傳感器通常是半導(dǎo)體壓敏材料。半導(dǎo)體壓阻式傳感器在受到外力后,自身的幾何形狀幾乎沒有什么改變,而是其晶格參數(shù)發(fā)生改變,影響到禁帶寬度。禁帶寬度哪怕是非常微小的改變,都會引起載流子密度很大的改變,這最終引起材料的電阻率發(fā)生改變。
 
壓阻壓力傳感器是指利用單晶硅材料的壓阻效應(yīng)和集成電路技術(shù)制成的傳感器。單晶硅材料在受到力的作用后,電阻率發(fā)生變化,通過測量電路就可得到正比于力變化的電信號輸出。它又稱為擴(kuò)散硅壓阻壓力傳感器,它不同于粘貼式應(yīng)變計(jì)需通過彈性敏感元件間接感受外力,而是直接通過硅膜片感受被測壓力的。
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