硅壓力傳感器的靈敏度高,成本低,受溫度影響大。
陶瓷電容傳感器重復性優(yōu)秀,過載能力強,受溫度影響小,感壓截面積大,成本略高。
兩者各有特點,沒有哪一個有絕對優(yōu)勢。一般的應(yīng)用建議選用
硅壓阻的,品種多,價格低。
應(yīng)用:
1汽車輪胎壓力監(jiān)測
2發(fā)動機控制
3大氣壓力測量
4空壓表
5手執(zhí)壓力計
特色:
①固態(tài)、MEMS技術(shù)、高可靠性
②低成本、小尺寸
③標準壓力范圍:0-100KPa; 0-700KPa
④非線性 < 0.20%FSO
⑤硅/硅鍵合芯片,穩(wěn)定性好