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薄膜壓力傳感器工作原理

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薄膜壓力傳感器工作原理
薄膜微壓力傳感器在測量過程中，壓力直接作用在傳感器的膜片上，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻發(fā)生變化，同時通過電子線路檢測這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個對應(yīng)于這個壓力的標(biāo)準(zhǔn)信號，這樣的過程就是薄膜壓力傳感器進(jìn)行測量的過程。
對于薄膜壓力傳感器來說，靈敏度和線性度是薄膜壓力力傳感器最重要的兩個性能指標(biāo)。為了制作出能夠滿足實(shí)際應(yīng)用需求的傳感器，必需探索出一種薄膜壓力力傳感器靈敏度和線性度的有效仿真方法。實(shí)際的研究中，發(fā)現(xiàn)一種基于對壓阻式壓力傳感器薄膜表面應(yīng)力的有限元分析(FEA)和路徑積分的仿真方法。通過這一方法實(shí)現(xiàn)了在滿量程范圍內(nèi)不同壓力值下對傳感器電壓輸出值的精確估計，在此基礎(chǔ)上對壓力傳感器的靈敏度和線性度進(jìn)行了有效仿真。
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